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石英玻璃CNC加工方法及发展情况

日期:2021-07-27点击数:206赞数:0

石英玻璃CNC加工方法及发展情况

1957年,我国开始发展石英玻璃行业,起初主要服务于军工和航天事业,改革开放后 开始注重研发高新技术用石英玻璃,石英玻璃行业在这一时期也取得了不小的进步,但是产品质量相对较低。

90年代至今, 引进先进技术,加强自主创新,这一阶段我国人员结合国外先进的石英玻璃生产技术,从原料到生产工艺都取得了很大的进步,制备的石英产品质量也不断提高,中低端石英制品达到产业化,并满足国内需求,但是在突破制备高端石英制品的技术上我们还需要不断的努力。
国内外石英玻璃工业发展现状
(1)国内发展概况
半导体技术用石英玻璃
①硅单晶制造用石英玻璃。电弧法坩埚生产技术是科技攻关与引进先进技术相结合而发展成熟的先进制造技术,2004年国内石英坩埚产量14万只,实现销售收入近亿元。现国内共有10家生产企业,拥有电弧法生产设备26套,产品规格8~18英寸,主要为太阳能用硅材料生产服务。
②半导体工业用石英材料。这类产品是加工石英玻璃仪器、石英玻璃器皿的基础材料,过去大部分依赖从国外进口,近几年国内石英行业通过加大研发力度,整合资源优势,在石英材料制造技术上有了很大的突破,现国内制造设备已达到30台,采用二步法拉制高质量高精度的石英棒及大直径石英玻璃管,广泛应用于光纤、半导体、石英加工等领域。
③集成电路用石英玻璃器件。石英玻璃扩散管和各种高纯石英制品是集成电路生产的关键性消耗材料,现全国共有十多家企业生产各类石英玻璃仪器、器皿,2004年销售额约为3亿元。近几年,国内生产石英玻璃仪器、器皿的加工技术进步很快,已接近国际先进水平。
硅微粉
①球形硅微粉。球形硅微粉主要应用于集成电路的封装,其长期依赖进口供应。现国内企业已自主开发成功高频等离子法制备球形硅微粉,并建成50t/a的中试生产线,于2005年3月投入生产运行。
②角形硅微粉。目前国内市场的角形硅微粉包括两大类:结晶硅微粉和熔融硅微粉。其中以结晶硅微粉为主导产品,大多数生产厂家生产规模小,品种单一,产品一般在600目以下,全国大约有500家企业,年产总量在30万t左右。生产出来的产品主要用于玻璃、陶瓷、冶金等领域,也用于硅橡胶、油漆、涂料、封装二极管、三极管和电工及电子元件的塑封料。

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